据晶升股份消息 ，近日 ，晶升股份自主研发的大尺寸CVD SiC化学气相沉积涂层成套设备完成整机出厂检验，正式装车发运交付客户，标志着公司在大尺寸碳化硅涂层工艺装备领域取得重要进展 ，为半导体热场关键部件的国产化制造提供了有力支撑。
（文章来源：人民财讯）
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据晶升股份消息，近日 ，晶升股份自主研发的大尺寸CVDSiC化学气相沉积涂层成套设备完成整机出厂检验...
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我是桔子号的签约作者“南城”！
希望本篇文章《晶升股份自主研发大尺寸CVD SiC涂层成套设备完成交付》能对你有所帮助！
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